[发明专利]流量控制方法以及流量控制装置在审
申请号: | 201980025060.X | 申请日: | 2019-04-19 |
公开(公告)号: | CN111989635A | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 平田薰;小川慎也;杉田胜幸;西野功二;池田信一 | 申请(专利权)人: | 株式会社富士金 |
主分类号: | G05D7/06 | 分类号: | G05D7/06 |
代理公司: | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人: | 刘春成;刘春燕 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种流量控制方法,其使用具备设置于流路的第一控制阀(6)、设置于第一控制阀的下游侧的第二控制阀(8)、和对第一控制阀的下游侧的流体压力进行测定的压力传感器(3)的流量控制装置(100)而进行,所述流量控制方法包含:步骤(a),基于压力传感器的输出以成为第一流量的方式控制第一控制阀的开度,并且维持打开第二控制阀的状态,从流体以第一流量流动的状态起,关闭第一控制阀的开度;以及步骤(b),基于压力传感器的输出,通过调整第二控制阀的开度对残留在第一控制阀的下游的压力进行控制,使流体以第二流量在第二控制阀的下游侧流动。 | ||
搜索关键词: | 流量 控制 方法 以及 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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