[发明专利]计量方法和设备有效
| 申请号： | 201980025344.9 | 申请日： | 2019-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN112005170B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 郑舒婷;S·索科洛夫;A·E·A·库伦 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 崔卿虎 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种减轻结构的测量上的过程相关杂散光伪影的方法。该方法包括基于参考角分辨测量和目标角分辨测量来获得针对过程相关杂散光伪影的校准标度因子，以及利用所获得的校准标度因子来对图像进行校正。 | ||
| 搜索关键词： | 计量 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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