[发明专利]流体控制设备在审
申请号: | 201980025634.3 | 申请日: | 2019-06-04 |
公开(公告)号: | CN111989514A | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 丹野龙太郎;篠原努;铃木裕也;木曾秀则 | 申请(专利权)人: | 株式会社富士金 |
主分类号: | F16K27/02 | 分类号: | F16K27/02;F16K7/12;F16K37/00 |
代理公司: | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人: | 张黎;龚敏 |
地址: | 日本国大阪府大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种能够获取与设备的内部动作相关的数据的流体控制设备。流体控制设备(V)具有:机罩部(2),安装有用于检测流体控制设备(V)内的动作的传感器(M1、M2、P);以及阀主体(1),其在内部收容机罩部(2),在阀主体(1)设置有:凹部(12a),其用于收容机罩部(2);以及狭缝(12b),其供与传感器(M1、M2、P)连接的通信用的线缆(51)向外侧导出,并且所述狭缝(12b)的与形成有流路的基台部(11)相反侧的一端开口且从外侧向凹部(12a)侧贯通。 | ||
搜索关键词: | 流体 控制 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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