[发明专利]涂布系统在审
| 申请号： | 201980027974.X | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN112041089A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 桥本博之 | 申请（专利权）人： | 东丽工程株式会社 |
| 主分类号： | B05C11/00 | 分类号： | B05C11/00;B05C5/00;B05C15/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供涂布系统，其能够抑制腔室部的环境变化而进行保养作业，能够加快涂布环境的恢复而提高生产效率。涂布系统具有：载台部，其载置基板；台架单元，其具有涂布器，该涂布器向载台部上的基板涂布涂布液；维护单元，其进行涂布器的涂布液喷出侧的维护；以及腔室部，其以密封状态收纳载台部、台架单元、维护单元，其中，台架单元具有闸板部，该闸板部具有门部，涂布器通过进行升降动作从而能够穿插于该门部，维护单元具有密封部，该密封部与闸板部抵接并将门部封闭，从而将腔室部在密封的状态下划分成比闸板部靠上侧的访问腔室部和比闸板部靠下侧的主体侧腔室部。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 | ||
【主权项】：
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