[发明专利]用于基于过程参数标记衬底的方法有效
| 申请号： | 201980028052.0 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN112088337B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | V·巴斯塔尼;A·雅玛 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种对与经历制造过程的过程步骤的衬底相关联的数据进行分组的方法。该方法包括：在经历过程步骤之前，获取与衬底相关联的第一数据，以及在经历过程步骤之后，获取与衬底相关联的第二数据的多个集，第二数据的每个集与第一数据的特性的不同值相关联。确定描述第二数据的多个集之间的距离的测量的距离度量；并且基于距离度量的性质对第二数据分组。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基于 过程 参数 标记 衬底 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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