[发明专利]使用暂时及永久接合的多层堆叠光学元件在审

专利信息
申请号: 201980028149.1 申请日: 2019-02-21
公开(公告)号: CN112020770A 公开(公告)日: 2020-12-01
发明(设计)人: 卢多维克·戈代;韦恩·麦克米兰;罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森;拿玛·阿加曼;塔帕什里·罗伊;赛捷·多莎 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01L21/768 分类号: H01L21/768;H01L21/027;H01L21/52;H01L33/00;H01L27/146;G03F7/00
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 此处系统及方法相关于使用硅晶圆、玻璃、或如基板的装置来形成光学装置,所述光学装置包含堆叠的光学元件层。可在暂时或永久基板上制造此处所讨论的光学元件。在一些范例中,制造光学装置以包含透明基板或装置,所述装置包含电荷耦合装置(CCD)、或互补式金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器、发光二极管(LED)、微LED(uLED)显示器、有机发光二极管(OLED)或垂直腔表面发光激光器(VCSEL)。光学元件可在光学元件层之间形成夹层,夹层的厚度范围可为1nm至3mm。
搜索关键词: 使用 暂时 永久 接合 多层 堆叠 光学 元件
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司,未经应用材料公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201980028149.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code