[发明专利]利用电场效应的压力传感器及其制造方法在审
申请号: | 201980028923.9 | 申请日: | 2019-04-26 |
公开(公告)号: | CN112041650A | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 姜文植 | 申请(专利权)人: | 内传感器株式会社 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14;G01L9/00 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 韩国庆尚*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 利用电场效应的压力传感器包括向垂直方向延伸并限定核心区域的第一电极、配置成整体包围所述第一电极的第二电极、介于所述第一电极和所述第二电极之间的第一绝缘层、与所述第二电极电绝缘并配置成包围所述第二电极的接地电极以及配置成连接至所述接地电极并覆盖所述第一电极和所述第二电极,与所述第一电极和所述第二电极一起在邻接区域中形成电场,并随物体的接近引起所述电场的畸变的隔膜。 | ||
搜索关键词: | 利用 电场 效应 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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