[发明专利]IR热电堆检测器阵列在审
申请号: | 201980028966.7 | 申请日: | 2019-02-26 |
公开(公告)号: | CN112041647A | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | F·乌德雷亚;A·德卢卡 | 申请(专利权)人: | AMS传感器英国有限公司 |
主分类号: | G01J5/02 | 分类号: | G01J5/02;G01J5/12;H01L27/16 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 肖冰滨;王晓晓 |
地址: | 英国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 我们在此公开了一种红外(IR)检测器,该红外(IR)检测器包括衬底,包括至少一个蚀刻部分和衬底部分;电介质层,被设置在所述衬底上。电介质层包括至少一个电介质膜,其与所述衬底的所述蚀刻部分相邻。该检测器还包括第一感测区域和第二感测区域以及多个热电偶,第一感测区域和第二感测区域中的每一者位于电介质膜中。至少一个热电偶包括第一和第二热接点。第一热接点位于第一感测区域中或第一感测区域上,并且第二热接点位于第二感测区域中或第二感测区域上。 | ||
搜索关键词: | ir 热电 检测器 阵列 | ||
【主权项】:
暂无信息
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