[发明专利]检查工具、检查方法和计算机程序产品有效
| 申请号： | 201980029178.X | 申请日： | 2019-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN112041753B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | R·奎因塔尼拉;S·A·米德尔布鲁克;A·C·M·库普曼;A·V·G·曼格努斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 罗利娜 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提出了一种确定用于检查工具的测量序列的方法，该检查工具检查由光刻系统执行的光刻过程生成的结构，该方法包括：得出由光刻系统执行的光刻过程的模型，该模型包括描述光刻系统的一组系统变量与表示光刻过程产生的结构的输出变量之间的关系，确定输出变量中一个或多个系统变量的可观察性，以及基于可观察性确定检查工具的测量序列。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 工具 方法 计算机 程序 产品 | ||
【主权项】：
暂无信息
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