[发明专利]用于CMOS传感器上的超声换能器的压力端口有效

专利信息
申请号: 201980029781.8 申请日: 2019-05-02
公开(公告)号: CN112075090B 公开(公告)日: 2022-10-14
发明(设计)人: 基思·G·菲费;刘建伟;杨君宇;约瑟夫·卢茨基 申请(专利权)人: 蝴蝶网络有限公司
主分类号: H04R7/02 分类号: H04R7/02;H04R31/00;A61B8/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 唐京桥;侯艳超
地址: 美国康*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 描述了具有压力端口的微机械超声换能器。该微机械超声换能器可以包括被配置成在腔上方振动的柔性膜。在某些情况下,腔可以被膜本身密封。压力端口可以提供到腔的通路,从而控制腔压力。在一些实施方式中,提供了一种包括微机械超声换能器阵列的超声装置,其具有用于超声换能器中的至少一些的压力端口。压力端口可以被用来控制整个阵列上的压力。
搜索关键词: 用于 cmos 传感器 超声 换能器 压力 端口
【主权项】:
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