[发明专利]用于CMOS传感器上的超声换能器的压力端口有效
申请号: | 201980029781.8 | 申请日: | 2019-05-02 |
公开(公告)号: | CN112075090B | 公开(公告)日: | 2022-10-14 |
发明(设计)人: | 基思·G·菲费;刘建伟;杨君宇;约瑟夫·卢茨基 | 申请(专利权)人: | 蝴蝶网络有限公司 |
主分类号: | H04R7/02 | 分类号: | H04R7/02;H04R31/00;A61B8/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 唐京桥;侯艳超 |
地址: | 美国康*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 描述了具有压力端口的微机械超声换能器。该微机械超声换能器可以包括被配置成在腔上方振动的柔性膜。在某些情况下,腔可以被膜本身密封。压力端口可以提供到腔的通路,从而控制腔压力。在一些实施方式中,提供了一种包括微机械超声换能器阵列的超声装置,其具有用于超声换能器中的至少一些的压力端口。压力端口可以被用来控制整个阵列上的压力。 | ||
搜索关键词: | 用于 cmos 传感器 超声 换能器 压力 端口 | ||
【主权项】:
暂无信息
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