[发明专利]对制造设备中的特性的降低干扰的实时感测在审
| 申请号： | 201980029808.3 | 申请日： | 2019-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN112088303A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 吴同 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;H01L21/66;G01N21/95;G01N21/84;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 陈炜;李德山 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用于实时感测工业制造设备中的特性的装置和方法。该感测系统包括：第一多个传感器，该第一多个传感器被安装在半导体器件制造系统的加工环境内，其中，每个传感器被分配给不同的区域，以监测该制造系统的所分配的区域的物理或化学特性；以及读取器系统，该读取器系统具有被配置成同时并以无线的方式询问该多个传感器的部件。该读取器系统使用单一高频询问序列，该单一高频询问序列包括：(1)向该第一多个传感器发送第一请求脉冲信号，该第一请求脉冲信号与第一频带相关联，以及(2)接收来自该第一多个传感器的唯一可识别的传感器响应信号，该第一多个传感器提供对该系统的每个所分配的区域的物理或化学特性的变化的实时监测。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 设备 中的 特性 降低 干扰 实时 | ||
【主权项】：
暂无信息
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