[发明专利]超声阵列换能器的制造有效

专利信息
申请号: 201980029871.7 申请日: 2019-02-28
公开(公告)号: CN112423902B 公开(公告)日: 2022-08-30
发明(设计)人: 大卫·休斯;丹尼尔·欧文 申请(专利权)人: 诺沃声波有限公司
主分类号: B06B1/06 分类号: B06B1/06;H01L41/04;H01L41/29
代理公司: 华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 黄隶凡
地址: 英国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本申请描述了用于制造柔性超声换能器阵列或在制造柔性超声换能器阵列中使用的方法,以及得到的超声换能器阵列。该方法包括在箔衬底上提供压电材料层,并且采用增材技术将至少一个电极施加于压电材料的表面,使得电极以电极阵列布置。该方法还包括采用增材技术将多个导电线路和多个电连接器施加于压电材料的表面或施加于设在压电材料的表面上的电介质材料层,使得相应的导电线路将相应的电极电连接至相应的电连接器。增材技术包括掩模、沉积、光图形化、印刷或图形化涂覆中的至少一种。可选地,压电材料层包括已沉积在箔上的无机压电材料层。
搜索关键词: 超声 阵列 换能器 制造
【主权项】:
暂无信息
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