[发明专利]用于多通道质量流量和比率控制系统的方法和装置在审
| 申请号： | 201980030414.X | 申请日： | 2019-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN112204493A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 丁军华;M·勒巴塞伊;W·科勒 | 申请（专利权）人： | 万机仪器公司 |
| 主分类号： | G05D11/13 | 分类号： | G05D11/13;G01F1/40;G01F1/50 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 刘爱勤;王小东 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了流体控制系统以及用于流体控制的对应方法，该流体控制系统包括质量流量控制系统、质量流量比率控制系统以及质量流量和比率控制系统。这些系统允许一个共享的压力传感器被用于多个流道，以及控制器，该控制器可以基于由该共享的压力传感器检测到的流体压力来准确地确定质量流量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 通道 质量 流量 比率 控制系统 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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