[发明专利]基板搬运机器人及基板保持手的光轴偏差检测方法有效

专利信息
申请号: 201980030615.X 申请日: 2019-05-10
公开(公告)号: CN112041132B 公开(公告)日: 2023-03-31
发明(设计)人: 冈田拓之;吉田雅也 申请(专利权)人: 川崎重工业株式会社
主分类号: B25J19/04 分类号: B25J19/04;B25J13/08;H01L21/677;H01L21/68
代理公司: 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 代理人: 曹芳玲
地址: 日本兵库*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明的基板保持手的光轴偏差检测方法取得理想光轴在水平的第一方向上延伸的手的基准回转位置;进行第一搜寻处理,该第一搜寻处理一边使手在以基准回转位置为基准的指定的第一回转位置向以回转轴为中心的放射方向移动,一边藉由光电传感器检测第一目标体,并求出此时手的与第一方向正交的水平的第二方向的位置作为检测位置;对第二目标体进行与第一搜寻处理相同的第二搜寻处理;基于藉由第一搜寻处理与第二搜寻处理求出的检测位置的差,检测光轴相对于理想光轴的倾斜。从回转轴至第一目标体及第二目标体为止的第二方向的距离相等,在手上,光轴和第一目标的交叉位置与光轴和第二目标的交叉位置不同。
搜索关键词: 搬运 机器人 保持 光轴 偏差 检测 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于川崎重工业株式会社,未经川崎重工业株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201980030615.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code