[发明专利]基板搬运机器人及基板保持手的光轴偏差检测方法有效
申请号: | 201980030615.X | 申请日: | 2019-05-10 |
公开(公告)号: | CN112041132B | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | 冈田拓之;吉田雅也 | 申请(专利权)人: | 川崎重工业株式会社 |
主分类号: | B25J19/04 | 分类号: | B25J19/04;B25J13/08;H01L21/677;H01L21/68 |
代理公司: | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人: | 曹芳玲 |
地址: | 日本兵库*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的基板保持手的光轴偏差检测方法取得理想光轴在水平的第一方向上延伸的手的基准回转位置;进行第一搜寻处理,该第一搜寻处理一边使手在以基准回转位置为基准的指定的第一回转位置向以回转轴为中心的放射方向移动,一边藉由光电传感器检测第一目标体,并求出此时手的与第一方向正交的水平的第二方向的位置作为检测位置;对第二目标体进行与第一搜寻处理相同的第二搜寻处理;基于藉由第一搜寻处理与第二搜寻处理求出的检测位置的差,检测光轴相对于理想光轴的倾斜。从回转轴至第一目标体及第二目标体为止的第二方向的距离相等,在手上,光轴和第一目标的交叉位置与光轴和第二目标的交叉位置不同。 | ||
搜索关键词: | 搬运 机器人 保持 光轴 偏差 检测 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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