[发明专利]用于具有倾斜的光学窗的微机械设备的制造方法和相应的微机械设备在审
| 申请号： | 201980031200.4 | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN112105580A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | B·施托伊尔;S·平特 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于具有倾斜的光学窗的微机械设备的制造方法和一种相应的微机械设备。所述制造方法包括以下步骤：提供具有前侧(VS)和后侧(RS)的第一衬底(S1)；在所述第一衬底(S1)中形成多个间隔开的通孔(F1、F2)，所述通孔沿着多个间隔开的列(R1、R2)布置在所述第一衬底(S1)中；沿着所述列(R1、R2)中的每一列形成相应的连续的斜的槽(N1、N2)，所述槽确定用于倾斜的光学窗(G1、G2)的支座；并且将所述光学窗(G1、G2)在所述通孔(F1、F2)上方接合到所述槽(N1、N2)中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 具有 倾斜 光学 微机 设备 制造 方法 相应 | ||
【主权项】：
暂无信息
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