[发明专利]多孔区域结构及其制造方法在审
| 申请号： | 201980031729.6 | 申请日： | 2019-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN112119512A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 弗雷德里克·瓦龙;朱利安·埃尔萨巴希;久伊·帕拉特 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所;原子能与替代能源委员会 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02;C25D11/18;H01G11/26;C25D11/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 杜诚;杨林森 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了多孔区域结构及其制造方法。多孔区域结构的特征在于使具有不均匀的孔的硬掩模边界区域密封，由此从该结构排除功能。硬掩模边界区域的密封通过使用在用于限定结构的多孔区域的阳极氧化硬掩模的顶部上沉积的硬掩模来完成。通过排除硬掩模边界区域，可以以更高的精确度控制或量化多孔区域结构的孔隙比和等效比表面。通过密封硬掩模边界区域，还可以显著地减少由于结构的下面的金属层露出而引起的腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 多孔 区域 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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