[发明专利]废气处理方法及装置在审
| 申请号： | 201980031903.7 | 申请日： | 2019-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN112118900A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 能智博史 | 申请（专利权）人： | 系统工程服务有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/44 | 分类号： | B01D53/44;B01D53/047;B01D53/82;B01D53/96 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 郭放;许伟群 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在发明的一方式的废气处理装置(10)中，作为吸引风机(12)来使用具有回流功能(定压功能)的风机，在作为吸附塔(11a、11b)的出口管路的大气排放管路(23)和吸引风机(12)的入口侧(12a)之间设置具有废气旁通阀(43)的废气旁通管路(42)，并进行控制而使吸引鼓风机的入口侧(12a)的压力成为预定的规定值，该压力超过了预定的规定值时，使废气旁通阀(43)变为打开状态而使吸引风机(12)的入口侧(12a)直接与大气排放管路(23)连接。根据本发明的一方式的废气处理装置，能够提供一种将废气处理装置编入于制造设备时使制造设备的废气管路的背压自动成为规定值以下而使得制造设备不易受损且安全性优异的废气处理方法及装置。 | ||
| 搜索关键词： | 废气 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
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