[发明专利]用于制造消除装置的部件的方法

摘要

公开了一种用于制造消除装置的部件的方法。该方法包括：基于指定的部件特性，对限定消除装置的反应室的部件的3D模型表示进行网格划分，以限定所述部件的优化的有限元表示；以及制造优化的有限元表示。以此方式，可产生消除装置的部件的3D模型，可从所述3D模型对其性能进行建模。可限定部件的特定特性，其影响消除装置的操作。然后，这些特性可以用于通过使用网格划分来生成部件的具有这些特性的优化有限元表示（将理解的是，网格划分是将几何对象表示为有限元集合的操作）。然后可以制造优化的有限元表示，从而可靠地生产具有所需特性的部件。