[发明专利]流量控制方法以及流量控制装置在审
| 申请号： | 201980032448.2 | 申请日： | 2019-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN112272809A | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 平田薰;小川慎也;杉田胜幸;西野功二;池田信一 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成;刘春燕 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种使用流量控制装置(100)进行的在流量上升时的流量控制方法，流量控制装置(100)具备：设置于流路第一控制阀(6)；设置于第一控制阀的下游侧的第二控制阀(8)；和对第一控制阀的下游侧且第二控制阀的上游侧的流体压力进行测定的压力传感器(3)，流量控制方法包含：(a)在将第二控制阀关闭的状态下，使用压力传感器求出在第一控制阀的下游残留的压力的步骤；和(b)通过基于压力传感器的输出调整第二控制阀的开度，对在第一控制阀下游残留的压力进行控制，在第二控制阀的下游侧以第一流量流动流体的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 流量 控制 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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