[发明专利]包含溶剂混合物的组合物用于处理图案化材料时避免图案坍塌的用途

摘要

本发明涉及包含C1‑C6链烷醇和式I羧酸酯的组合物的用途，其中R1选自C1‑C6烷基，其可未被取代或被OH或F取代，和‑X21‑[O‑X22]n‑H；R2选自C1‑C6烷基，其可未被取代或被OH或F取代，和‑X21‑[O‑X22]n‑H；X21、X22独立地选自C1‑C6链烷二基，其可未被取代或被OH或F取代；n为1‑5的整数。其中选择所述C1‑C6链烷醇和羧酸酯以形成共沸混合物，并且以低于该共沸混合物的20重量％至低于该共沸混合物的20重量％的量存在。