[发明专利]超纯水制造装置及超纯水制造方法在审
| 申请号： | 201980033935.0 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN112203988A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 中村清一 | 申请（专利权）人： | 野村微科学股份有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/42 | 分类号： | C02F1/42;B01D19/00;B01D61/00;C02F1/32;C02F1/44 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 高迪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 目的是提供一种在离子交换树脂的更换时也能够持续地制造确保了希望的水质的超纯水的超纯水制造装置。本发明的超纯水制造装置具备多个分支流路、多个离子交换装置、多个开闭阀及开度变更部。多个分支流路使被处理水的流路分支并在下游侧合流。多个离子交换装置分别设在多个分支流路上，分别具有离子交换树脂。多个开闭阀分别设在各个分支流路上的各个离子交换装置的前后。开度变更部将开闭阀的开度根据所设定的时间的经过而变更。 | ||
| 搜索关键词： | 超纯水 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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