[发明专利]用于确定标记检测系统中的测量束的期望波长带宽的带宽计算系统和方法有效
| 申请号： | 201980034022.0 | 申请日： | 2019-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN112166384B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 王甲;J·F·F·克林坎梅尔;李华 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种用于确定标记检测系统中的测量束的期望波长带宽的带宽计算系统，该带宽计算系统包括处理单元，该处理单元被配置为基于标记几何形状信息确定期望波长带宽，标记几何形状信息包括表示标记的深度的标记深度信息。在一个实施例中，期望波长带宽是基于标记检测误差函数的周期和/或方差参数。本发明还涉及包括该带宽计算系统的标记检测系统、位置测量系统和光刻设备、以及用于确定期望波长带宽的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 标记 检测 系统 中的 测量 期望 波长 带宽 计算 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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