[发明专利]工件的两面研磨装置及两面研磨方法有效
| 申请号： | 201980034151.X | 申请日： | 2019-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN112313035B | 公开（公告）日： | 2023-02-14 |
| 发明（设计）人： | 久保田真美;野中英辅;谷口铁郎;高梨启一 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/08;B24B49/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李婷;陈浩然 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出一种即使反复进行工件的两面研磨，也能够以所希望的形状来结束两面研磨的两面研磨装置及两面研磨方法。基于本发明的两面研磨装置具备测量载板的温度的温度测量机构（9）及控制工件的两面研磨的控制机构（20）。控制机构（20）决定下一批次中从根据由温度测量机构（9）所测量的载板（3）的温度变化的振幅来决定的基准时间点开始追加进行两面研磨的补偿时间，在从基准时间点开始经过已决定的补偿时间后的时间点结束工件的两面研磨。上述补偿时间的决定是基于从先前的批次中两面研磨的工件（1）的形状指标的实绩值及批次间的补偿时间的差所预测的关于下一批次的工件（1）的形状指标的预测值来进行的。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 两面 研磨 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于胜高股份有限公司，未经胜高股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980034151.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
