[发明专利]颗粒传感器在审
| 申请号： | 201980034357.2 | 申请日： | 2019-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN112313496A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | P·科普嫩;T·西岚帕;马克库·于利拉米 | 申请（专利权）人： | 芬兰国家技术研究中心股份公司 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02;G01N15/10;B81B3/00;G01N33/00;G01N27/22;G01N15/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 陈伟;寿宁 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本发明的示例性方面，提供了一种装置。该装置包括：微机电MEMS电容器，该MEMS电容器包括两个板和位于两个板之间的间隙；气体输送器，该气体输送器被配置成使气体流过该间隙；以及读出电路，该读出电路被配置为测量MEMS电容器的电容。 | ||
| 搜索关键词： | 颗粒 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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