[发明专利]带图案膜基板的制造方法在审
| 申请号： | 201980034770.9 | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN112205077A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 兼子让;青木贵志;野村祐介;佐佐木佳子;佐野明日香 | 申请（专利权）人： | 中央硝子株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;C08F22/18;G09F9/00;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/12;H05B33/22 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;敖莲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的带图案膜基板的制造方法包含：对带图案膜基板进行UV臭氧清洗或氧等离子体清洗，得到第一带图案膜基板的清洗工序，其中，所述带图案膜基板在基板上形成有具有图案的图案膜；及加热上述第一带图案膜基板而得到第二带图案膜基板的加热工序，通过上述清洗工序，上述第一带图案膜基板的图案膜的接触角减小，通过上述加热工序，上述第二带图案膜基板的图案膜的接触角得到恢复。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 膜基板 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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