[发明专利]化合物、树脂、组合物、抗蚀图案形成方法、电路图案形成方法和树脂的纯化方法在审
| 申请号： | 201980035577.7 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN112218844A | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 堀内淳矢;冈田悠;牧野岛高史;越后雅敏 | 申请（专利权）人： | 三菱瓦斯化学株式会社 |
| 主分类号： | C07C39/15 | 分类号： | C07C39/15;C07C39/367;C07C49/83;C08G8/04;G03F7/11;G03F7/20;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的目的在于，提供：对光刻用膜形成材料等有用的新型化合物等。前述目的可以通过下述式(1)所示的化合物而达成。 |
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| 搜索关键词： | 化合物 树脂 组合 图案 形成 方法 电路 纯化 | ||
【主权项】：
暂无信息
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