[发明专利]用于制造环境的基于块的预测在审
| 申请号： | 201980036902.1 | 申请日： | 2019-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN112262350A | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 大卫·埃弗顿·诺曼 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;G06Q10/04;G06Q10/06;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文所述的实施方式提供一种用于执行基于块的(block‑based,BB)工作流程以产生与半导体制造环境相关的预测的技术。实施方式包括接收包含多个块的至少一个BB工作流程。多个块可以指定用于产生针对指定的未来时间间隔的预测的一组操作。实施方式包括访问对应于多个块的多个块定义。实施方式包括通过依据多个块定义执行该组操作来执行至少一个BB工作流程，其包括从半导体制造环境提取数据，该数据包含与制造环境中的装备相关的静态数据与动态数据，依据所提取的数据来确定与制造环境相关的针对指定的未来时间间隔的预测，以及将预测发布到半导体制造环境中的至少一个部件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 环境 基于 预测 | ||
【主权项】：
暂无信息
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