[发明专利]衍射光学元件、投影装置及计测装置有效
| 申请号： | 201980038280.6 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN112236694B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 村上亮太;中山元志 | 申请（专利权）人： | AGC株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G01B11/25;G02B1/115 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;安翔 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及衍射光学元件，具备：基材；凹凸部，设置于所述基材的一个面上，相对于入射光显现规定的衍射作用；及反射防止层，配备于所述基材与所述凹凸部之间，构成所述凹凸部的凸部的第一介质和构成所述凹凸部的凹部的第二介质在所述入射光的波段中的有效折射率差Δn为0.70以上，在所述入射光从所述基材的法线方向入射时从所述凹凸部出射的衍射光的出射角度范围θ |
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| 搜索关键词： | 衍射 光学 元件 投影 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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