[发明专利]可变形膜及其补偿结构有效
| 申请号： | 201980038311.8 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN112236659B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 林宗贤;J·西格;C·米克劳斯;汤宗霖;严沛文 | 申请（专利权）人： | 应美盛股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L19/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 蔡文清;王颖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 传感器包括基材、电极、可变形膜、和补偿结构。基材包括第一侧和第二侧。第一侧与第二侧相反。基材包括在其第一侧上的腔室。电极位于基材第一侧上的腔室底部处。可变形膜位于基材的第一侧上。可变形膜封罩腔室并且响应于外部刺激而变形。补偿结构连接至可变形膜的外周。补偿结构响应于温度变化和热系数失配而产生了与可变形膜弯曲力相反的弯曲力。 | ||
| 搜索关键词： | 变形 及其 补偿 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应美盛股份有限公司，未经应美盛股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980038311.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：自钝化金属的化学活化
- 下一篇：结晶金属磷酸盐、其制备方法和用途
