[发明专利]有机金属化合物在审
| 申请号： | 201980038445.X | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN112292384A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | W·肖恩;A·弗雷;E·厄尔纳;A·多皮乌;R·卡奇 | 申请（专利权）人： | 优美科股份公司及两合公司 |
| 主分类号： | C07F15/06 | 分类号： | C07F15/06;H01L21/205;C23C16/18 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘学媛 |
| 地址： | 德国哈瑙*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本专利申请涉及新型烯丙基钴络合物、它们的制备方法以及它们用于气相沉积的用途。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 金属 化合物 | ||
【主权项】：
暂无信息
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