[发明专利]一种横向激励的薄膜体声波谐振器在审
| 申请号： | 201980039853.7 | 申请日： | 2019-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN112352382A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 维克多·普莱斯基;苏米亚·扬德拉帕利;罗伯特·B·哈蒙德;布莱恩特·加西亚;帕特里克·特纳;杰森·约翰;温切斯拉夫·扬捷切夫 | 申请（专利权）人： | 谐振公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H3/08;H03H9/46;H03H9/64;H03H9/17;H03H9/02;H03H9/25;H01L41/332 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 董科 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种声学谐振器装置和滤波器。一滤波器，包括一衬底，以及具有平行的正面和背面的压电板，背面附接到衬底上。在所述正面上形成导体图案，导体图案包括相应的多个谐振器的多个叉指式换能器(IDT)，其中多个IDT中的每一个IDT的交错的指状物设置在所述压电板的相应部分上，所述压电板悬挂在与所述衬底中形成的一个或多个空腔上。所述多个谐振器包括并联谐振器和串联谐振器。设置在所述并联谐振器的IDT的指状物之间的第一介电层的第一厚度大于设置在所述串联谐振器的IDT的指状物之间的第二介电层的第二厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 横向 激励 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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