[发明专利]确定描述设备的操作的参数之间的显著关系在审
| 申请号： | 201980040054.1 | 申请日： | 2019-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN112334835A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | D·E·S·K·西格特尔曼斯;M·R·A·布伦特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05B23/02;G06Q10/00;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于确定描述光刻设备的操作的多个参数之间的多个关系的子集的方法和设备，该方法包括：确定描述参考设备的多个参数之间的第一关系的第一数据集合；基于一个或更多个测量的结果，确定描述参考设备或另外的设备的多个参数之间的第二关系的第二数据集合；比较第一数据集合和第二数据集合；以及基于第一数据集合和第二数据集合之间的差异，从第二数据集合中选择第二关系的子集。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 描述 设备 操作 参数 之间 显著 关系 | ||
【主权项】：
暂无信息
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