[发明专利]介电薄膜、介电薄膜元件、压电致动器、压电传感器、磁头组件、磁头悬臂组件、硬盘驱动器、打印头和喷墨打印装置在审
| 申请号： | 201980040362.4 | 申请日： | 2019-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112640137A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 佐藤祐介;石田未来;佐藤和希子;舟窪浩;清水庄雄;长谷川光勇;石滨圭佑 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社;国立大学法人东京工业大学 |
| 主分类号： | H01L41/187 | 分类号： | H01L41/187;B41J2/14;G11B5/58;G11B21/10;H01L41/09;H01L41/113;H01L41/319;H02N2/02 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;谢弘 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 介电薄膜包含金属氧化物，金属氧化物包含铋、钠、钡和钛，金属氧化物的至少一部分为具有钙钛矿结构的正方晶，至少一部分的正方晶的(100)面在介电薄膜3的表面的法线方向dn上取向。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 元件 压电 致动器 传感器 磁头 组件 悬臂 硬盘驱动器 打印头 喷墨 打印 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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