[发明专利]用于控制制造设备和相关联设备的方法在审
| 申请号： | 201980041201.7 | 申请日： | 2019-05-01 |
| 公开（公告）号： | CN112352201A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | W·西蒙斯;D·M·斯劳特布姆;E·德柯尔特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 披露了一种用于确定对制造过程中所使用的至少一个制造设备的控制的校正的方法，所述至少一个制造设备用于提供结构至衬底上的区，所述区包括多个子区。所述方法包括：获得与所述区的所述制造过程的过程参数相关的测量数据；和基于所述测量数据来确定对所述制造设备的校正。所述校正被配置成维持所述过程参数处于跨越两个所述子区之间的边界的指定范围内，和/或与所述区的剩余部分相比对跨越两个所述子区之间的边界的过程参数来较好地进行校正。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 制造 设备 相关 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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