[发明专利]缺陷判别方法、缺陷判别装置、缺陷判别程序及记录介质在审
申请号: | 201980041373.4 | 申请日: | 2019-06-19 |
公开(公告)号: | CN112334761A | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 柏原将人 | 申请(专利权)人: | 柯尼卡美能达株式会社 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01B11/30 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艳君;王海奇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明所涉及的缺陷判别方法具备:获取被测定物的拍摄图像的拍摄工序;检测缺陷候补的缺陷候补检测工序;获取缺陷候补的位置的形状信息的形状信息获取工序;将拍摄图像的亮度标准化的标准化工序;基于标准化后的亮度获取判别值的判别值获取工序;获取与形状信息对应的修正值的修正值获取工序;利用上述修正值修正判别值以及阈值中的任意一方的修正工序;以及判别上述缺陷候补是否是缺陷的判别工序。 | ||
搜索关键词: | 缺陷 判别 方法 装置 程序 记录 介质 | ||
【主权项】:
暂无信息
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