[发明专利]缺陷判别方法、缺陷判别装置、缺陷判别程序及记录介质在审

专利信息
申请号: 201980041373.4 申请日: 2019-06-19
公开(公告)号: CN112334761A 公开(公告)日: 2021-02-05
发明(设计)人: 柏原将人 申请(专利权)人: 柯尼卡美能达株式会社
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01B11/30
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 舒艳君;王海奇
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明所涉及的缺陷判别方法具备:获取被测定物的拍摄图像的拍摄工序;检测缺陷候补的缺陷候补检测工序;获取缺陷候补的位置的形状信息的形状信息获取工序;将拍摄图像的亮度标准化的标准化工序;基于标准化后的亮度获取判别值的判别值获取工序;获取与形状信息对应的修正值的修正值获取工序;利用上述修正值修正判别值以及阈值中的任意一方的修正工序;以及判别上述缺陷候补是否是缺陷的判别工序。
搜索关键词: 缺陷 判别 方法 装置 程序 记录 介质
【主权项】:
暂无信息
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