[发明专利]转印薄膜、层叠体及图案形成方法在审
| 申请号： | 201980042030.X | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN112352199A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 霜山达也 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/095;G03F7/20;G06F3/041 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种转印薄膜以及层叠体及图案形成方法，该转印薄膜依次具有临时支承体、含有粘合剂聚合物、聚合性化合物及光聚合引发剂的第1感光层以及至少包含粘合剂聚合物且光学浓度为0.5以上的遮光层。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 层叠 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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