[发明专利]流量传感器在审
| 申请号： | 201980042201.9 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN112313481A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 中土裕树;小野瀬保夫;余语孝之;岛田辽太郎 | 申请（专利权）人： | 日立汽车系统株式会社 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684;G01F1/692 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;何中文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 流量传感器包括：引线框；半导体芯片，其配置在所述引线框的一个面上，在所述半导体芯片形成了在所述引线框一侧具有空腔部的膜片；流量检测部，其形成在所述半导体芯片的包含所述膜片上的所述一个面上；和树脂，其具有使形成在所述膜片上的所述流量检测部的至少一部分露出的流路用开口部，覆盖所述引线框和所述半导体芯片，所述树脂的、覆盖在所述引线框的与所述一个面一侧为相反侧的另一个面一侧的下部侧树脂部，在与所述膜片的周缘部相对的区域具有比周围薄的薄壁部。 | ||
| 搜索关键词： | 流量传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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