[发明专利]基于性能匹配的调谐扫描器的波前优化在审
| 申请号： | 201980042738.5 | 申请日： | 2019-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN112313581A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 段福·史蒂芬·苏;C·R·K·C·亨纳克斯;拉斐尔·C·豪厄尔;施展;李小阳;F·斯塔尔斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 闫红 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述一种用于确定图案化过程的图案形成设备的波前的方法。所述方法包括：获得参考设备(例如扫描器)的参考性能(例如轮廓、EPE、CD)、被配置成将波前的波前参数转换为致动器移动的图案形成设备的透镜模型、和调谐扫描器(例如待匹配的扫描器)的透镜指纹。此外，所述方法涉及基于所述调谐扫描器的所述透镜指纹、所述透镜模型和成本函数，确定所述波前参数(例如，诸如倾斜、偏移等波前参数)，其中所述成本函数是所述参考性能与调谐扫描器性能之间的差。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 性能 匹配 调谐 扫描器 优化 | ||
【主权项】：
暂无信息
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