[发明专利]流量控制系统和流量测定方法在审

专利信息
申请号: 201980043297.0 申请日: 2019-07-16
公开(公告)号: CN112470093A 公开(公告)日: 2021-03-09
发明(设计)人: 永濑正明;山下哲;河岛将慈;泷本昌彦;西野功二;池田信一 申请(专利权)人: 株式会社富士金
主分类号: G05D7/06 分类号: G05D7/06
代理公司: 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 代理人: 刘春成;刘春燕
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的流量控制系统(1)的控制部(3),具备:记录压力传感器(P)和温度传感器(T)的测量值的记录部(31);存储与压力传感器(P)的测量值对应的从第一阀(V1)到第二阀(V2)为止的容积的存储部(32);和基于第一压力值(P1)和第一温度值(T1)、第二压力值(P2)和第二温度值(P2)以及与第二压力值(P2)对应的从第一阀(V1)到第二阀(V2)为止的容积值(V)对流量进行运算的运算部(33),其中,第一压力值(P1)和第一温度值(T1)为:将第一阀(V1)和第二阀(V2)打开而让气体流动,在气体流动的状态下将第一阀(V1)和第二阀(V2)同时关闭,此后测量得到的第一压力值(P1)和第一温度值(P2),第二压力值(P2)和第二温度值(T2)为:将第一阀(V1)和第二阀(V2)打开让气体流动,在气体流动的状态下将第二阀(V2)关闭,此后,经过规定时间(Δt)后,将第一阀(V1)关闭后测量得到的第二压力值(P2)和第二温度值(T2)。
搜索关键词: 流量 控制系统 测定 方法
【主权项】:
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