[发明专利]流量控制系统和流量测定方法在审
申请号: | 201980043297.0 | 申请日: | 2019-07-16 |
公开(公告)号: | CN112470093A | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 永濑正明;山下哲;河岛将慈;泷本昌彦;西野功二;池田信一 | 申请(专利权)人: | 株式会社富士金 |
主分类号: | G05D7/06 | 分类号: | G05D7/06 |
代理公司: | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人: | 刘春成;刘春燕 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的流量控制系统(1)的控制部(3),具备:记录压力传感器(P)和温度传感器(T)的测量值的记录部(31);存储与压力传感器(P)的测量值对应的从第一阀(V1)到第二阀(V2)为止的容积的存储部(32);和基于第一压力值(P1)和第一温度值(T1)、第二压力值(P2)和第二温度值(P2)以及与第二压力值(P2)对应的从第一阀(V1)到第二阀(V2)为止的容积值(V)对流量进行运算的运算部(33),其中,第一压力值(P1)和第一温度值(T1)为:将第一阀(V1)和第二阀(V2)打开而让气体流动,在气体流动的状态下将第一阀(V1)和第二阀(V2)同时关闭,此后测量得到的第一压力值(P1)和第一温度值(P2),第二压力值(P2)和第二温度值(T2)为:将第一阀(V1)和第二阀(V2)打开让气体流动,在气体流动的状态下将第二阀(V2)关闭,此后,经过规定时间(Δt)后,将第一阀(V1)关闭后测量得到的第二压力值(P2)和第二温度值(T2)。 | ||
搜索关键词: | 流量 控制系统 测定 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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