[发明专利]感光性树脂组合物、蚀刻方法以及树脂构造体的制造方法在审
| 申请号： | 201980044443.1 | 申请日： | 2019-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN112384857A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 入泽宗利;伊藤旭;田边昌大;丰田裕二;梶谷邦人 | 申请（专利权）人： | 三菱制纸株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;C08F2/48;C08F220/30;G03F7/033;G03F7/20;G03F7/40 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴克鹏 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的课题在于提供对含有15质量％～45质量％的碱金属氢氧化物及5质量％～40质量％的乙醇胺化合物的强碱性蚀刻液的耐性优异的感光性树脂组合物及利用该感光性树脂组合物的蚀刻方法，通过该感光性树脂组合物及利用该感光性树脂组合物的蚀刻方法以及树脂构造体的制造方法解决了所述课题，该感光性树脂组合物至少含有(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合引发剂及(C)聚合性单体，含有5～80质量％的通式(i)表示的m+n为2以上且7以下的化合物作为(C)聚合性单体，或者在(A)碱可溶性树脂为苯乙烯及甲基丙烯酸的共聚物时含有通式(i)表示的m+n为2以上且20以下的化合物作为(C)聚合性单体，m+n为2以上且7以下的化合物的含量为80质量％以下。 |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 蚀刻 方法 以及 构造 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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