[发明专利]光学单元的支撑在审
| 申请号： | 201980044987.8 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN112384862A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | M.沃格特;J.哈特杰斯 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/182;G02B7/183 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微光刻的组件，特别是使用极EUV范围(EUV)中的光，所述微光刻的组件包括用于支撑光学单元(106、107)的支撑结构(109)，所述光学单元的质量特别是等于4t至14t，优选地为5t至10t，更优选地为6t至8t。支撑结构(109)包括用于支撑光学单元(106、107)的多个分离的支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)。支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)中的每一个包括空气轴承单元(111.1、111.2、111.3、111.4)，通过空气轴承单元能够生成抵消光学单元(106、107)的重量的支撑力。支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)的数目至少等于四个，其中，经由联接装置(112)联接支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)中的至少两个以形成支撑单元对，使得联接装置(112)抵消与支撑单元对的两个支撑单元(110.1、110.2)的支撑力的可指定比率的偏差。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 单元 支撑 | ||
【主权项】：
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