[发明专利]激光加工装置、激光加工方法以及成膜掩模的制造方法有效
| 申请号： | 201980045262.0 | 申请日： | 2019-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN112384323B | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 斋藤雄二;平山秀雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/064;B23K26/082 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 权鲜枝;刘宁军 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明具备：激光光学系统(1)，其生成线光束(Lb)；荫罩(2)，其配置在上述激光光学系统(1)的光行进方向下游侧，与在掩模用构件(9)上激光加工的多个开口图案对应地设置有多个开口窗；投影透镜(3)，其将上述荫罩(2)的像投影到上述掩模用构件(9)上；移动机构(4)，其使向上述荫罩(2)上照射的上述线光束(Lb)相对于上述荫罩(2)和上述投影透镜(3)相对地在与上述线光束(Lb)的长轴交叉的方向上移动；以及工作台(5)，其载置并保持上述掩模用构件(9)。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 方法 以及 成膜掩模 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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