[发明专利]选择性蚀刻材料的改进在审
| 申请号： | 201980045475.3 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN112384597A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 王界入;吴幸臻;许家荣 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08;C09K13/06 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 李婷 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种从微电子衬底选择性去除氧化铝或氮化铝材料的方法，所述方法包含使所述材料与水性蚀刻组合物接触，所述水性蚀刻组合物包含：含氟化物源的蚀刻剂；和金属腐蚀抑制剂；其中所述组合物的pH在3到8范围内。还描述水性蚀刻组合物和用途。 | ||
| 搜索关键词： | 选择性 蚀刻 材料 改进 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于恩特格里斯公司，未经恩特格里斯公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980045475.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：使用肠杆菌科细菌对醇和胺进行酶促磺酰化的方法
- 下一篇：治疗性的杂环化合物
