[发明专利]供应射频(RF)等离子体产生器及远程等离子体产生器的RF信号源在审
申请号: | 201980046433.1 | 申请日: | 2019-07-08 |
公开(公告)号: | CN112424905A | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 埃勒·Y·尤科;卡尔·弗雷德里克·利瑟;邱华檀 | 申请(专利权)人: | 朗姆研究公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人: | 樊英如;邱晓敏 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种多信号射频(RF)源包含:RF源;以及转换器,其包含与所述RF源的输出连通的输入、第一输出和第二输出。所述转换器被设置成将所述输入选择性连接至所述第一输出和所述第二输出中的一者。与所述多信号RF源的所述第一输出连通的RF产生器被设置成在所述处理室中产生等离子体。与所述多信号RF源的所述第二输出连通的远程等离子体产生器被设置成供应远程等离子体至所述处理室。 | ||
搜索关键词: | 供应 射频 rf 等离子体 产生器 远程 信号源 | ||
【主权项】:
暂无信息
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