[发明专利]用于X射线散射材料分析的方法及设备

摘要

本发明涉及一种用于X射线散射材料分析的方法，尤其涉及用于小角度X射线散射材料分析的方法，所述方法包括：‑生成入射X射线束并引导所述入射X射线沿传播方向(X)到保持在样本环境中的样本；执行包括以下步骤的样本测量过程：通过布置在所述样本环境下游的区域检测器(10)确定从所述样本散射的X射线的分布；以及通过所述检测器(10)确定透射通过所述样本的X射线束的强度(It)；执行包括以下步骤的样本数据处理过程：通过将取决于所述透射强度的校正应用于所述散射X射线分布来确定校正后散射X射线分布；执行包括以下步骤的数据分析过程：基于所述校正后散射X射线分布确定所述样本的至少一个结构特征；以及其特征在于：将所述散射的X射线和所述透射的X射线的采集分为多个采集周期，其中每个采集周期(Tacq)小于或等于预先确定的最大采集时间(Tmax)，使得所述检测器(10)在线性范围内工作；所述检测器(10)测量包含所述散射的X射线和所述透射的X射线的信号的单个检测器图像帧，其中，在所述多个采集周期中的一个采样周期内内测量每个单个检测器图像帧；在连接到所述检测器(10)的计算机中，将所述单个检测器图像帧叠加成总检测器图像帧；以及根据基于所述总检测器图像帧获得的绝对散射X射线分布来实现确定所述样本的所述至少一个结构特征。本发明还涉及一种适用于执行这种方法的设备。