[发明专利]前驱物输送系统及其相关方法在审
| 申请号： | 201980048382.6 | 申请日： | 2019-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN112449679A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 黄祖滨;S·L·怀特;J·R·巴基;D·N·凯德拉亚;J·C·罗查;F·阮 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02;G01N15/06;G01N21/3504;H01L21/67;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在此提供用于输送具有期望的乙硼烷浓度的处理气体至处理腔室的处理容积的系统与方法。在一实施例中，系统包括硼烷浓度传感器。硼烷浓度传感器包括主体与多个窗口。在此，多个窗口的各窗口安置在主体的相对端且主体与多个窗口共同地界定单元容积。硼烷浓度传感器进一步包括辐射源与辐射检测器，辐射源安置在单元容积外并邻近于多个窗口的第一窗口，辐射检测器安置在单元容积外并邻近于多个窗口的第二窗口。 | ||
| 搜索关键词： | 前驱 输送 系统 及其 相关 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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