[发明专利]具有串扰限制装置的多光谱成像传感器在审
| 申请号： | 201980049012.4 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN112840187A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | S·笛莎兰德;L·洛克斯;M·休伯特;V·索热 | 申请（专利权）人： | 西利奥斯技术公司 |
| 主分类号： | G01J3/26 | 分类号： | G01J3/26;G01J3/28;H01L27/146;G01J3/02 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 郭思宇 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 混合多光谱成像传感器，其特征在于它包括背面照射光敏探测器(DET)和滤光模块(MF)，所述背面照射光敏探测器在由InP构成的衬底(100)上制成并且由像素(105、P1、P2、P3)的矩阵形成，所述像素本身是在基于InGaAs的结构(103)中制成的，所述滤光模块由再现像素的所述矩阵的基本滤光器(λ1、λ2、λ3)的矩阵形成并且被置成接触所述衬底(100)，由InP构成的所述衬底(100)具有小于50μm优选小于30μm的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 限制 装置 光谱 成像 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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