[发明专利]利用图像传感器的表面缺陷检查装置及检查方法

摘要

本发明涉及一种利用图像传感器的表面缺陷检查装置及检查方法，本发明的利用图像传感器的表面缺陷检查装置包括：框架部，其提供将被检体沿着与地面平行的长度方向传送的传送路径；传送部，其设置于上述框架部的一侧以将上述被检体沿着上述传送路径传送；图像传感器部，其设置于上述传送路径的中间，以从上述被传送的被检体的上部对被检体的表面进行摄像；照明部，其设置于上述传送路径的中间且包括多个照明灯，该多个照明灯各自沿互不相同的方向对上述被检体的表面中的由上述图像传感器部所摄像的区域即摄像区域照射光；以及控制部，其将上述传送部和图像传感器部的工作控制成一边使上述被检体仅以预定的单位传送距离移动一边对上述被检体的表面进行摄像，从而在每次摄像时摄像区域仅以上述单位传送距离变化，因此能够提高具有各种类型、形状、或方向的缺陷的检测准确性。