[发明专利]辐射源和用于将发射的辐射反馈到激光源的装置在审
| 申请号： | 201980049190.7 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN112470349A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | U.丁格 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | H01S3/09 | 分类号： | H01S3/09 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 自由电子激光器(35)包括用于反馈发射的照明辐射(5)的反馈装置(36)。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射源 用于 发射 辐射 反馈 激光 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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