[发明专利]用于确定微光刻光学系统的光学元件的加热状态的方法和装置在审
| 申请号： | 201980049199.8 | 申请日： | 2019-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN112513739A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | T.格鲁纳;J.哈特杰斯;M.豪夫;G.伯勒 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/00;G02B7/18;G01J5/08 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于确定微光刻光学系统中的光学元件的加热状态的方法和设备，其中使用至少一个非接触传感器(330、430、531、532、533、534、631、632)，所述至少一个非接触传感器基于从所述光学元件(301、401、402、403、501、502、503、504、601)接收电磁辐射，并且其中，由所述传感器(330、430、531、532、533、534、631、632)捕获的辐射范围变化，以确定所述光学元件中的温度分布。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 微光 光学系统 光学 元件 加热 状态 方法 装置 | ||
【主权项】：
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